1. OKPay

      人工上下料净化机台
      Load Port Station 配合OHT顺利获得E84通讯,进行FOUP上下料,并能够与上层系统MCS/EAP进行事件沟通。

      可选配置:单、双PORT;Clamp
      功能亮点:

      亲和人机界面

      稳定系统集成

      Load/UnLoad自主切换

      具有SEMI S2认证

      兼容多种EAP通信

      具备Clamp

      软件描述
      LPS Software
      LPS Software
      实时显示每个平台(Port)的运行状态,包括运行模式、业务状态、传感器状态、外部io输出状态、Foup相关信息。

      功能亮点:
      ▪ 单体客户端架构,降低硬件需求,易于部署维护,支持多种数据库。
      ▪ 精准辨识产品资讯,配合AMHS系统可快速完成产品传送,实现现场产品流程运作最佳状态。
      ▪ 减少人力运输风险,降低营运成本,确保最佳产品质量。
      重要参数
      技术指标参数
      尺寸(长*宽*高)

      272(mm)*523(mm)*1720(mm)

      重量

      150kg

      负载(位置数量)

      30kg

      震动

      <0.5G

      噪音

      ≤70Db


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